Kính hiển vi điện tử quét phân giải siêu cao Regulus Series

☆☆☆☆☆ ( 0 đánh giá ) 247 lượt xem
Giá tham khảo : Liên hệ

Nhà cung ứng: Công ty TNHH Hitachi Asia (Việt Nam)

Regulus Series sử dụng đầu phát điện tử phát xạ trường lạnh (Cold-field-emission - CFE) tối ưu hóa cho hình ảnh độ phân giải cao tại thế gia tốc thấp. Đầu phát cho phép thiết bị có thể để phóng to hình ảnh độ phân giải cao lên đến 2 triệu lần *1 so với chỉ 1 triệu lần trong các dòng sản phẩm trước đó.

  • - Đầu phát điện tử CFE được tối ưu hóa cho điện áp thấp, hình ảnh độ phân giải cao với sai số nhỏ
    - Độ phân giải được cải thiện 20% so với các model trước đó (Regulus8220 / 8230/8240: 0,9 nm / 1 kV; Regulus8100: 1,1 nm / 1 kV)
    - Độ phóng đại tối đa lớn gấp đôi, từ 1 triệu lần lên tới 2 triệu lần *2
    - Tối ưu các chức năng hỗ trợ người dùng

  • THÔNG SỐ KỸ THUẬT
  •  

    Regulus 8100

    Regulus 8220

    Regulus 8230

    Regulus 8240

    Độ phân giải SE

    0.8 nm (Vacc: 15 kV)

    0.7 nm (Vacc: 15 kV)

    1.1 nm (Điện áp landing: 1 kV)*3

    0.9 nm (Điện áp landing: 1 kV)*3

    Thế gia tốc

    0.5~30 kV

    0.5~30 kV

    Điện áp landing*3

    0.1~2 kV

    0.01~20 kV

    Độ phóng đại

    20~1,000,000 ×*4

    20~2,000,000 ×*4

    Bàn mẫu

    Điều khiển bàn mẫu

    Động cơ 3 trục *5

    Động cơ 5 trục

    Phạm vi dịch chuyển

    X

    0~50 mm

    0~50 mm

    0~110 mm

    0~110 mm

    Y

    0~50 mm

    0~50 mm

    0~110 mm

    0~80 mm

    R

    360°

    T

    -5~70°

    Z

    1.5~30 mm

    1.5~40 mm

    Độ lặp lại bàn mẫu

    -

    -

    -

    Nhỏ hơn ±0.5 µm

    Scroll